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SMC流體控制和高真空元件

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SMC高真空元件

更新時(shí)間：2012-12-18　點(diǎn)擊數(shù)：2735

SMC高真空元件
鋁制高真空L型閥   XL□


系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式
閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC 雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF O形圈密封
單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金		16～160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG 雙作用16～80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD 波紋管・
O形圈密封
單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		25～80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH 手動(dòng)波紋管密封
手動(dòng)閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLS 電磁式波紋管壓力平衡單作用
(N.C.)		16, 25
特長(zhǎng)
  • 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥  XLAQ·XLDQ


系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLAQ 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLDQ 波紋管密封
O形圈密封		40,50
特長(zhǎng)
  • 快換接頭裝拆 (無(wú)需工具)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY


注）對(duì)直通型無(wú)尺寸16的閥。
系列/CAD
(L型/直通型)		動(dòng)作方式軸密封方式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XMA/XYA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　 SCS13
　 (相當(dāng)SUS304)
波紋管：
　 SUS316L		16～80注）
XMC/XYC 雙作用
XMD/XYD 波紋管
O型圈密封		單作用
(N.C.)		閥體：
　SCS13
　(相當(dāng)SUS304)
波紋管：
　SUS316L		25～80
XMH/XYH 手動(dòng)波紋管密封手動(dòng)閥體：
　SCS13
　 (相當(dāng)SUS304)
波紋管：
　SUS316L		16～50注）
特長(zhǎng)
  • 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無(wú)氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

磁性開關(guān)   D


系列磁性開關(guān)種類內(nèi)容
D Series 有觸點(diǎn)的磁性開關(guān)一般 (通用型)
無(wú)觸點(diǎn)的磁性開關(guān)一般 (通用型)

平穩(wěn)出氣閥   XVD


系列/CAD閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD 常斷
(加壓通/彈簧密封)		氮?dú)?、空氣、惰性氣體等VCR®
Swagelok®		1/4B
特長(zhǎng)
  • 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來(lái)的1/4。
  • (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

門閥   XGT


系列/CAD使用壓力范圍 (Pa)使用流體門尺寸
(高×寬) (mm)		動(dòng)作壓力
(MPa)
XGT 大氣壓～1×10-6惰性氣體系的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6
特長(zhǎng)
  • 對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門閥隔開的場(chǎng)合。

真空無(wú)桿氣缸   CYV


系列/CAD使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝缸徑 (mm)
CYV 大氣～1.3×10-415,32
特長(zhǎng)
  • 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運(yùn)場(chǎng)合可以使用的氣缸。
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